エキシマ光による有機物洗浄

被洗浄基板:ローラーインプリント用Niフィルム

付着物:アクリル系樹脂

被洗浄基板:Ni

付着物:ポリエチレン系樹脂

被洗浄基板:石英

付着物:UV樹脂